硫氧化物包括二氧化硫和三氧化硫，污染面廣，是大氣污染的主要指標。

氮氧化物主要產(chǎn)生于燃燒、硝酸生產(chǎn)、硝化以及電子、電渡等行業(yè)。處理方法主要有催化還原、吸附和吸收法。

氟化物常采用水吸收法凈化含氟廢氣，凈化率可達99.9%.

氯化氫以水吸收最為經(jīng)濟方便，凈化率可達95%.

硫化氫的干法凈化有氧化鐵法和活性炭法。濕法有溶劑法、堿法、氧化法。

有機廢氣治理首先應是采用無害化工藝，減少有毒原料的用量，控制有毒氣體的排放量。凈化方法有冷凝法、吸附法、燃燒法和吸收法。